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アズワン 6インチSICウェハ（Dummy/4H-N）研究用 3枚入

商品説明・詳細
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商品情報

●研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。
●グレード：Dummy Grade
●タイプ：4H
●Surface orientation error：＜11-20＞4±0.15°
●ドーパント：n-type
●抵抗率：0.015～0.025Ω
●直径：150.0±0.2mm
●厚み：350±25μm
●1次オリフラ：[1-100]±5°
●1次オリフラ長さ：47.5±1.5mm
●2次オリフラ：None
●TTV：?10μm
●Bow：-45～45μm
●Warp：?55μm
●表面仕上げ：Si面 CMP Si-faceCMP
●表面粗さ（Si-face）：Ra?0.2nm（5μm×5μm）
●マイクロパイプ：?10ea／cm2
●数量：1箱（3枚入）※１枚につき1ケース
●※特注対応品
●▼方位（切断角度）、OF方位角度公差、厚み公差をより小さく高精度に加工することができ、エッチングでの正確な溝形成が可能となります。
●▼多様な形状加工と表面処理が可能です（例：ざぐり加工、穴あけ加工、酸化膜付きウェハー）。
●▼ご希望の比抵抗率、ウェハー厚みに合わせた対応が可能です。
●※本製品は半導体向けの結晶材を使用し製造加工しておりますが、材料純度に関する証明等に対応できるものではありません。
●※特注対応での受注の場合は仕入先とご調整お願いします。
入数:1箱(3枚入)

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