アズワン 2インチ熱酸化膜付きウェハ(1500nm±10%)研究用 [P(100) 1-100Ω] 片面ミラーDF品 25枚入

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商品情報

●研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。
●サイズ:2インチシリコンウェハ
●熱酸化膜膜厚み:1500nm(1.5μm)±10%
●直径(mm):50.0±0.2
●ウェハー厚(μm):280±25
●製造方法:CZ法
●導電型:P型
●面方位:100
●OF方位:110
●抵抗値(Ω・cm):1~100
●OF:有
●面状態:ミラー/エッチド
●パーティクル:ダストフリー
●TTV(μm):≦25
●数量:25枚(1箱)
●※特注対応品
●方位(切断角度)、OF方位角度公差、厚み公差をより小さく高精度に加工することができ、エッチングでの正確な溝形成が可能となります。
●多様な形状加工と表面処理が可能です(例:ざぐり加工、穴あけ加工、酸化膜付きウェハー)。
●ご希望の比抵抗率、ウェハー厚みに合わせた対応が可能です。
●※本製品は半導体向けの結晶材を使用し製造加工しておりますが、材料純度に関する証明等に対応できるものではありません。
●※膜ムラや膜厚みの狙いの商品につきましては、不問とさせて頂きます。
入数:1箱(25枚入)

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